稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。

Bearing
轴承
Ball bearing 球轴承
Compression ratio for Ar
氩气压缩比
2.5 · 107
Compression ratio for H2
氢气压缩比
3 · 102
Compression ratio for He
氦气压缩比
3 · 103
Compression ratio for N2
氮其压缩比
3 · 106
Cooling method, standard
冷却方式，标准
Convection 对流
Electronic drive unit
控制器
with TC 110
Flange (in)
法兰（进气）
DN 25
Flange (out)
法兰（出气）
DN 16 ISO-KF / G 1/8"
Fore-vacuum max. for N2
氮气最大前级真空
25 hPa | 18.75 Torr | 25 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar
氩气全转速时的气流量
0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2
氢气全转速时的气流量
2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He
氦气全转速时的气流量
0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2
氮气全转速时的气流量
0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s
Interfaces
接口
RS-485, Remote
Mounting orientation
安装方向
in any orientation 任意方向
Operating voltage
运行电压
24 (± 5 %) V DC
Particulate matter
颗粒物
yes
Permissible magnetic field max.
容许的最大磁场
3 mT
Protection category
防腐等级
IP 54
Pumping speed for Ar
氩气抽速
11.5 l/s
Pumping speed for H2
氢气抽速
3.7 l/s
Pumping speed for He
氦气抽速
6 l/s
Pumping speed for N2
氮气抽速
10 l/s
Rotation speed ± 2 %
旋转速度 ± 2 %
90000 min-1
Rotation speed variable
可变旋转速度
50-100 %
Run-up time
启动时间
0.9 min
Sound pressure level
声压级
< 50 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP
根据PNEUROP的极限压力
< 5 · 10-5 hPa | < 3.75 · 10-5 Torr | < 5 · 10-5 mbar
Weight
重量
1.8 kg | 3.97 lb
Pfeiffer vacuum涡轮分子泵 Hipace10尺寸