HiPace 30Hipace 10-800
抽速等级在10-800 L/S 的紧凑型球轴承或复合轴承涡轮分子泵
稳健性工业设计
最小的空间安装需求
高可靠性
Hipace 300-800M , ATH 500 M
抽速等级在300-800 L/S 的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵
更大的气流量
更低的运行震动
更低的能耗
ATH 1600-3200 M
抽速等级在1400-2800 L/S 的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵
更好的前级泵兼容性
极高的气流量
出色的稳定性