ULVAC真空泵主要有以下型号：
VSN1501，VSN2401，NB2400B，NB1200A，NB600A，NB300A，NB100A，VDN601，VDN901，VDN401，VDN301，GLD-N280，GLD-N051，GLD-N201，GLD-N136，PVD-N360，PVD-N180，NRL60A，NRL90A，NRL180A，
特点：实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为使油的补充期延长，采用了2.5~4.0升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式和氟橡胶密封件。选用油雾过滤器、油返回机构后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。


用途
镀膜、溅射、离子镀
气体置换、充填、真空隔热
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析机器、检漏装置
真空包装、真空吸附
搬运、真空成形、真空铸造等
活性气体（CVD、刻蚀等）
排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）
用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）
冷冻干燥等水蒸气排气